非球面镜
- 产品编号 : AT-61153
- 类别： 光学透镜、反射镜、棱镜及相关设备
- 产品描述：凭借在光学设计、计量学、深紫外及光刻检测系统领域的经验，我们独具优势，能够制造和鉴定您要求最严苛的精密非球面镜。让我们经验丰富的工程师和熟练的制造技术人员为您评估项目。我们能够提供全面的光学产品，从材料和组件到复杂的多元件镜头以及完全对准的光机组件。
非球面镜
成就您的精密非球面镜
凭借在光学设计、计量学、深紫外及光刻检测系统领域的经验，我们独具优势，能够制造和鉴定您要求最严苛的精密非球面镜。让我们经验丰富的工程师和熟练的制造技术人员为您评估项目。我们能够提供全面的光学产品，从材料和组件到复杂的多元件镜头以及完全对准的光机组件。
满足苛刻应用的要求
材料选择——熔融石英、氟化钙、光学玻璃等
直径可达 200 毫米及以上
尖端制造能力
适用于深紫外至红外的应用
全套测量能力
我们全面的测量能力能以经济高效的方式提供您所需的精度。利我们的质量体系和测量工具来获得所需的性能：
非接触式轮廓仪 ~ 0.1 μm
二维表面干涉仪 ~ 0.03 μm
专用 TASP 工具 ~ 0.03 μm
技术规格和公差限值
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按属性划分的制造能力 |
单位 |
制造限制 |
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尺寸公差 |
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直径 |
mm |
+0.000 / -0.002 |
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中心厚度 |
mm |
+0.010 / -0.010 |
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半径 |
mm |
< 1 条纹 |
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机械偏差 |
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斜面垂度 |
mm |
+0.000 / -0.002 |
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垂度 |
mm |
+0.000 / -0.002 |
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楔形度 |
mm |
+0.0005 / -0.0005 |
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非球面轮廓公差 |
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不规则度 (峰谷值) |
条纹数 |
0.05 |
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不规则度 |
nm |
2 |
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斜率 |
条纹/mm |
0.1 |
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轮廓 |
µm |
< 0.025 |
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特性 |
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倒角 |
mm |
0.3 |
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粗糙度 |
Å |
2 |
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划痕-麻点 |
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< 20-10 |
注：制造规格限制取决于所需直径以及与最适球面的偏离程度。
