紫外显微物镜

产品编号 : AT-61152
类别：光学透镜、反射镜、棱镜及相关设备
产品描述：折反射式长工作距离微物镜专为深紫外波段应用设计。μCAT 凭借其卓越的设计特性，性能超越施瓦茨希尔德物镜。在选择全反射镜系统前，请深入了解 Tropel μCAT 的独特优势。
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紫外显微物镜

折反射式长工作距离微物镜专为深紫外波段应用设计。μCAT 凭借其卓越的设计特性，性能超越施瓦茨希尔德物镜。在选择全反射镜系统前，请深入了解 Tropel μCAT 的独特优势。

μCAT 设计的优势

μCAT 设计融合了反射与折射元件，实现了兼具高数值孔径、长工作距离和低遮蔽率的显微物镜。该设计在确保高分辨率与优异集光能力的同时，其工作距离可适配薄膜使用，在单一经济高效的解决方案中实现了性能与灵活性的完美结合。

宽带宽

μCAT 设计能提供足以适配基于光源系统的带宽，无需昂贵激光源即可运行，从而显著降低系统的整体成本。

掩蔽更少，性能更佳

透镜内部的中央遮光会直接影响中频调制传递函数（即图像对比度）。μCAT 的设计减少了遮光量，从而提升了中频 MTF。μCAT 设计的中央遮光比可低至 15%，而典型的施瓦茨柴尔德物镜中央遮光比通常高于 35%。

μCAT 设计的另一特点是采用“浮动”次镜，从而无需机械支杆或“蜘蛛架”——这些结构存在于其他微型物镜中，会阻挡部分光线通过系统。通过取消这些支杆，还能减少许多反射式微型物镜系统中存在的不良衍射效应。

设计精良，经久耐用

我们公司在污染控制、光学材料选择、高透射率镀膜及低放气材料领域的专业经验相结合，打造出坚固可靠的设计，从而为客户提供使用寿命更长的镜头产品。

μCAT 是一种封闭式系统，设计用于采用高纯度氮气进行吹扫。通过高纯度氮气吹扫来控制内部环境，可防止有害的环境污染物沉积在内部组件上。吹扫设计提升了内部清洁度，保持紫外透射率，同时最大化系统使用寿命。

μCAT 物镜所选用的所有材料均具有超低释气特性，以最大限度减少污染源。μCAT 设计不含胶合表面（已知在紫外应用中会因降低透射率而影响系统性能并缩短使用寿命）。设计包含特别筛选的材料，以优化特定波长的透射性能，并在光学表面应用专门开发的涂层，以实现最大透射率与使用寿命。

适用于高性能应用的紫外显微物镜

由于设计中采用的低遮挡特性，μCAT 可在部分相干照明条件下用于检测应用，或用于检查光掩膜和晶圆上的图像。μCAT 物镜目前已在包括光掩膜与晶圆检测和写入的 OEM 应用中得到使用。

适用于高性能成像、干涉测量及检测应用的紫外光学器件

所有μCAT 均针对特定波长范围进行校正，并在相应紫外波长下通过认证以验证其性能。每个制造的微物镜均附有合格证书和波前图。所有μCAT 均经过衍射极限性能认证。标准波长为 193 纳米、213 纳米和 248 纳米，特殊订单可提供其他波长和配置。

显微镜头可根据不同波长、数值孔径和机械配置进行特殊定制。如有具体需求，请联系我们。技术规格可能随时变更。

规格

注：请咨询定制管镜以满足您的放大倍率要求。

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